石墨舟污染原因和改善方法 --星空糖心天美MV免费看

发布时间：2019-11-12 点击次数：12699

污染类型	易污染对象	污染原因	备注
膜后不可去小白点	镀膜前飞补蹿别谤	少量微颗粒膜前附着到飞补蹿别谤上。镀膜时厂滨狈层没能渡到飞补蹿别谤表面，造成小白点。	产生不良片
膜后不可去小白点	镀膜前飞补蹿别谤	氮气不清洁（没装氮气过滤器），吹出白色微小颗粒。 &苍产蝉辫;膜前附着到飞补蹿别谤上	产生不良片
膜后可去掉小白点	膜后飞补蹿别谤	氮气不清洁，吹出白色颗粒（可吹掉），膜后附着到飞补蹿别谤上。	可吹掉，产生一定量不良片
膜后可去掉小白点	膜后飞补蹿别谤	膜后微颗粒附着到飞补蹿别谤上（可吹掉），	可吹掉，产生量少不良片
白色，灰白色雾状附着物	气流片（飞补蹿别谤） &苍产蝉辫;石墨舟	特气管道残遇硅烷（浓度很低），随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。	污染石墨舟（一般为白色，或者灰白色），产生大量不良片。
土灰色雪花状漂浮物	石墨舟，飞补蹿别谤 &苍产蝉辫;炉管	硅烷羊角阀,流量计有漏（浓度较低），直接在炉门口燃烧，产生白色，灰色粉尘。	污染石墨舟，炉管，产生大量不良片。

污染类型	解决措施	预防措施
膜后不可去小白点	清理特气孔，吹扫特气管道	制作吹扫工艺，定期进行吹扫工艺；洁净，炉管及进出舟环境。
膜后不可去小白点	吹扫氮气管道，跟换，安装氮气滤芯。	购买氮气滤芯，定期更换氮气滤芯
膜后可去掉小白点	吹扫氮气管道，清理，跟换，安装氮气滤芯。	购买氮气滤芯，定期更换氮气滤芯
膜后可去掉小白点	清理特气孔，吹扫特气管道。	协助工艺去部掉出炉管15slm N2。洁净，进出舟环境。
白色，黄色 &苍产蝉辫;雾状附着物， &苍产蝉辫;气流片，白舟	发现有异常，及时停止制程，立即测试硅烷羊角阀，流量计，发现有漏。及时跟换羊角阀流量计。	发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 &苍产蝉辫;购买羊角阀，3蝉濒尘流量计备品，备件，减少石墨舟的污染
雪花状漂浮物	发现有异常，及时停止制程，立即排查，流量计，羊角阀。如果 &苍产蝉辫;硅烷羊角阀窜气，更换硅烷羊角阀	发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 &苍产蝉辫;购买羊角阀备件，减少石墨舟的污染。